等离子增强化学气象沉积镀膜设备

PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。
该型号PECVD为单温区系列较新款，综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。而且控制部分采用了维意*的实验电炉AIO全自动智能控制系统，使得操作更加简便，功能更加强大。
主要特点：
1.?AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控
制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协
调控制；
2.?管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
3.?智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
4.?射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，
自动运行；
5.?炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可
距离；
6.?整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
技 术 参 数
加热炉部分
1	炉膛模式	开启式炉膛
2	显示模式	7英寸触摸屏
3	极限温度	1200℃
4	工作温度	≤1150℃
5	升温速率	建议10℃/Min ??Max：30℃/Min
6	加热温区	单温区/双温区
7	单温区长度	200?mm
8	炉管规格	60*1150?mm
9	控温精度	±1℃
10	密封方式	快速法兰密封
11	温度曲线	30段"时间—温度曲线"任意可设
12	预存曲线	可预存15条温度曲线
13	**温报警	有
14	过流保护	有
15	断偶提示	有
16	测温元件	K型热电偶
17	炉膛材料	氧化铝纤维
18	外形尺寸	800*560*1500MM
?射频电源功率
1	信号频率	13.56 MHz±0.005%
2	功率输出范围	5W-300W
3	功率稳定度	±0.1%
4	谐波分量	≤-50dbc
5	供电电压	单相交流（187V-253V）?频率50/60HZ
6	整机效率	>=70%
7	功率因素	>=90%
8	冷却方式	强制风冷
真空部分
1	工作电电压	220V±10% ?50~60HZ
2	功率	500W
3	抽气速率	6L/s
4	进气口口径	KF25
5	排气口口径	KF25
6	转速	1450rpm
7	噪音	55dB
8	极限真空	4X10-2Pa
?气路系统（标配2路普通质量流量计，更精准的可选配）
1	1,2气路采用DB07K系列
	准确度：±1.5%
	重复精度：±0.2%
	响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
	工作压差范围：0.1～0.5 MPa
2	3路采用高精度CS200系列
	准确度：±0.35%FS ?±1.0%SP
	线性：±0.5%FS
	重复精度：±0.2%FS
	响应时间：气特性：1Sec
?整机系统特色
1	正压测量	-100Kpa---100Kpa
2	真空测量	10-2Pa?～100Kpa（支持Ar测量）
3	正压保护	支持
4	压力恒定	支持
5	智能气路	支持
6	气路定时	支持
7	射频工作时间设定	支持
8	移动速度调节	支持
9	系统真空度	4.8×10-1Pa